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研磨

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磨き

当社の琢磨スラリーは、様々な基板や琢磨ステージに対応する様々なスラリーで、半導体産業や自動車産業に貢献しています。.

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利点

  • 高純度：99.9-99.99%+%。
  • 水性懸濁液、バインダーおよび添加剤不使用
  • 効率的なCMP製造のためのアルミナ濃度70%までの高固形分負荷
  • 低粘度
  • pH 4-6が標準、pH8+のオプションも可能
見積依頼

当社の製品範囲

琢磨業界への当社の提供品は、主に99.9～99.99% (3N～4N)の純度範囲の酸性アルファアルミナスラリーです。高pHおよびガンマスラリーオプションは、ご承認によりご利用いただけます。

SupAlox ON11 (70) SEM 2
SupAlox ON11のSEM像 (70)

SupALOX®アルミナスラリーは、低排出ガス、高純度アルミナ、無毒性、無添加を特徴としています。標準品以外のご要望については、お問い合わせください。

高性能琢磨スラリー

製品 純度 結晶相 PSD (D50)/ μm BETm2/g 固体含有率 pH
SupALOX ON11 (50) 4N アルファ 0.27 12-15 50 4-6
SupALOX ON11 (70) 4N アルファ 0.27 12-15 70 4-6
SupALOX OE11 (50) 3N アルファ 0.30 12-15 50 4-6
SupALOX ON110 (70) 4N アルファ 0.24 < 20 70 4-6

様々な粒度プロファイル

SupALOXアルミナスラリーは、さまざまな琢磨段階と需要に適合するよう、さまざまな粒度分布で供給されます。

当社のスラリーは、バインダーおよび添加剤なしで提供され、最大70質量％の固形分レベルで供給されます。

* サンプリング可能

Polishing PSD Comparison

当社はISO 9001、ISO 45001、ISO 14001の認証取得企業です。

私たちは卓越性と持続可能性をお約束します。当社のISO 9001、ISO 45001、ISO 14001認証は、品質管理、労働安全衛生、環境への責任に対する当社の献身を反映しています。

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